詳細介紹
科研實驗碳化鈦靶材TiC磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產(chǎn)品介紹
碳化鈦(TiC)是具有金屬光澤的鐵灰色晶體,具有很高的化學穩(wěn)定性,不溶于水,與鹽酸、硫酸幾乎不起化學反應,但能夠溶解于王水,硝酸,還溶于堿性氧化物的溶液中;硬度僅次于金剛石, 有良好的導熱和導電性, 在溫度極低時甚至表現(xiàn)出超導性。被廣泛用于制造金屬陶瓷, 耐熱合金、硬質(zhì)合金、抗磨材料、高溫輻射材料以及其它高溫真空器件;用其制備的復相材料在機械加工、冶金礦產(chǎn)、航天和聚變堆等領域有著廣泛的應用。
產(chǎn)品參數(shù)
中文名碳化鈦 化學式TiC
分子量59.89 沸點 4820℃
熔點 3140℃ 密度 4.93g/ml
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。