油庫晶圓防爆真空固化爐
產品用途：
本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的設備，烘箱溫度高可達450℃
性能特點：
1真空度可達10 Pa
2精體內氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口
3日本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制
4內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作
型號 ZK-固化系列
內箱尺寸（H*W*D) 20*20*40 30*30*60
控溫范圍 RT+20℃~450℃
溫度波動 ±0.5℃
真空度 10pa
氧含量 ≤20ppm
內箱材質 SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate
外箱材質 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel
保溫材料 硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton
保護裝置 聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp
功率 9.0 12.0
電源 AC380V±10%3中50HZ
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油庫晶圓防爆真空固化爐
