日照潔凈廠房單向流與非單流的建設要求

  氣流流型的確定應充分考慮的因素有：滿足空氣潔凈度等級要求、一次建設投資、運行維護費、空氣過濾器等更換方便等。潔凈室內氣流流型的設計要求，是基于數十年電子工廠潔凈廠房工作實踐的經驗總結，并結合氣流流型的實際狀況制定的。對潔凈室氣流流型的圖示。

   日照潔凈廠房單向流與非單流的建設要求，電子工業潔凈廠房的氣流流型，空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流，且混合流流型可應用于所有各種空氣潔凈度等級的潔凈室。

   潔凈室的送風量是保證空氣潔凈度等級的送風量，潔凈廠房內潔凈區的空氣潔凈度等級為5級或6級，氣流流型為非單向流，潔凈生產區送風一般選用FFU，吊頂上FFU的滿布率為25%左右，微環境內的空氣潔凈度等級為2-4級。單向流潔凈室的平均風速下限值，在自動化、機械化程度很高的潔凈室內基本無人的情況下，有的潔凈室僅采用0.11m/S。

  電子工業潔凈廠房中的凈化空調系統的主要形式為集中式和分散式，凈化空調系統的典型各種形式各具特點和適用性，在實際應用中，應根據具體工程項目的接室規模、空氣潔凈度等級和電子產品生產工藝特點及其要求確定，同時考慮運行經濟和降低能量消耗。三個系統各有利弊，其選擇主要與電子產品生產工藝、能量消耗、建設投資等有關，有時也與業主的意愿有關，但今年來在集成電路潔凈廠房中，采用FFU系統日益增多。