日照潔凈室生產設備工業設計選用

    為實現在潔凈室內使用防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備，在工業設計和選用設備是應該遵循的一些基本要求。日照潔凈室生產設備工業設計選用

    設備表面光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質。這里不能只理解為設備外表面，應該包括設備的所有可能與潔凈室生產環境接觸的表面和可能與電子產品生產過程接觸的表面，也包括這些表面的制作材料。某些電子產品與一些化學物質在制作過程中或在電子產品的使用過程中可能發生化學反應，影響某些電子產品的性能參數，所以要求設備表面不揮發化學物質。

    在電子工業潔凈室內，常常按產品生產工藝要求配置有在生產運行中將會散發微粒或排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，如半導體器件、集成電路生產中的擴散爐、外延爐、刻蝕機、離子注入設備、氣相沉積設備等，此類設備一般均沒有局部排風設施。

    由于電子產品生產工藝的需要，某些設備必須跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時，應采取固定隔斷或接空氣幕等可靠的密封隔斷措施。

    保護潔凈室內工作人員的身體健康，潔凈室內噪聲容許值，因此安裝在潔凈室內的設備應選用符合要求的低噪聲設備，由于電子產品生產過程或設備設計、運行條件的限制，所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應根據具體工程項目的實際條件采取相應的隔聲措施。