詳細(xì)介紹
特點
抽速范圍廣,從1升/秒到17升/秒
適用于電源電壓與頻率,110/220/380/460V,50/60Hz
高效環(huán)保,不返油也不噴油,創(chuàng)造潔凈真空和潔凈工作環(huán)境
操作簡單,能在大氣壓和真空之間頻繁啟動與關(guān)閉
低振動,低噪音,低能耗
重量輕、體積小
用途
鍍膜,PVD/CVD/LPD
LED/LCD/激光管抽真空與封裝
真空爐/單晶爐/烘箱
電子束焊接/激光焊接
手套箱/排氣臺
預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
激光管抽真空/封接
真空檢漏/He質(zhì)譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
冷凝泵再生
分子泵前級
空間環(huán)境模擬
表面分析儀器/能譜儀/掃描電鏡
光束線
技術(shù)指標(biāo)
型號 | GWSP75 | GWSP150 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | ||
抽速 | 50Hz | l/s | 1.0 | 2.0 | 4.3 | 8.7 | 16.6 |
l/min | 60.0 | 120.0 | 258.0 | 522.0 | 996.0 | ||
m3/h | 3.6 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 59.8 | ||
極限真空度 | Pa | ≤8.0 | ≤6.0 | ≤2.6 | ≤1.0 | ≤1.0 | |
Torr | ≤6.0×10-2 | ≤4.0×10-2 | ≤1.9×10-2 | ≤7.5×10-3 | ≤7.5×10-3 | ||
mbar | ≤8.0×10-2 | ≤6.0×10-2 | ≤2.6×10-2 | ≤1.0×10-2 | ≤1.0×10-2 | ||
噪音 | dB(A) | ≤52 | ≤57 | ≤61 | ≤63 | ≤63 | |
漏率 | 1×10-6mbar·l·s-1 | ||||||
大進(jìn)/排氣壓力 | MPa | 0.1 / 0.13 | |||||
工作環(huán)境溫度 | ℃ | 5~40 | |||||
大水處理能力 | G/day | 50 | 60 | ||||
單相 | 功率 | kW | 0.25 | 0.25 | 0.55 | 0.75 | -- |
電壓 | V | 50~60Hz/110~115 : 200~230 | -- | ||||
轉(zhuǎn)速 | rpm | 50Hz /1425; 60Hz /1725 | -- | ||||
接頭形式 |
| 北美,歐洲,英國/愛爾蘭,印度 | -- | ||||
三相 | 功率 | kW | -- | 0.37 | 0.55 | 0.75 | 1.50 |
電壓 | V | -- | 50 Hz/200~230 : 380~415; 60 Hz/200~230 : 460 | ||||
轉(zhuǎn)速 | rpm | -- | 50Hz /1425; 60Hz /1725 | ||||
進(jìn)/排氣口 |
| KF25/16 | KF25/16 | KF25/16 | KF40/16 | KF40/16x2 | |
外形尺寸 | mm | 405x225x260 | 430x250x280 | 490x290x340 | 520x316x360 | 580x360x400 | |
凈重 | kg | 15 | 18 | 27 | 31 | 52 | |
冷卻形式 | 風(fēng)冷 | ||||||
其它 | 帶氣鎮(zhèn)閥 |
使用注意事項
不能抽對人體有害或者易爆、易燃或腐蝕性氣體,或者含有化學(xué)品、溶劑、以及能生成粉末的物質(zhì),以免由于爆炸或者燃燒引起人身傷害。
進(jìn)氣溫度不能超過50℃,如果超過該溫度,必須在進(jìn)氣管路上安裝冷卻裝置,使進(jìn)氣溫度低于50℃。