FS4000微型氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
 
FS4000微型氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品概述: 
siargo ltd FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
siargo ltd FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍大到50SLPM；
產(chǎn)品特點: 
   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計 
  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用 
    - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量 
    - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高 
    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 
    - 零點穩(wěn)定度高 
    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性 
    - 低功耗、低壓損 
    - 響應(yīng)速度快 
產(chǎn)品特點: 

性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位 
通 徑 3 8 mm 
大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
量程比 100:1  
精 度 ±(1.5+0.2FS) % 
重復(fù)性 0.75 % 
零點輸出飄移 ±30 mV 
輸出飄移 0.12 %/oC 
響應(yīng)時間 100 ms 
工作電源 8~18Vdc,100mA   
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc   
大流量壓損 100 600 pa 
大工作壓力 0.5 MPa 
工作溫度 -10 ~ +55 oC 
存儲溫度 -20 ~ +65 oC 
工作濕度 <95%RH（無結(jié)冰、無凝露）   
機械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭  
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa  
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)