詳細(xì)介紹
產(chǎn)品參數(shù):
可處理襯底尺寸:直徑大為8英寸的晶圓片,或大為6英寸 x 6英寸的襯底;
旋轉(zhuǎn)速度:達(dá)9,000 rpm(以1 rpm步長(zhǎng)可調(diào));
固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;
處理時(shí)間:(1-999秒,可在1秒內(nèi)調(diào)整);
加速度:1-5,000rmp/sec;
其他參數(shù):20個(gè)程序段,每個(gè)40步
設(shè)備尺寸:約 480mmx 360mm x 416mm(不帶蓋子)
選配件:
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
主營(yíng)產(chǎn)品:
Laurell勻膠機(jī)
Harrick等離子清洗機(jī)
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺(tái)
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機(jī)
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)
Nilt納米壓印機(jī)
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng),濕站系統(tǒng)
Wabash/Carver自動(dòng)壓片機(jī)
控制器尺寸:約 145mmx 100mm x 120mm