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M-SPIN 200 Spin Coater勻膠旋涂儀

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  • 型號 M-SPIN 200
  • 品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 北京市

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更新時間:2020-03-08 14:32:23瀏覽次數:222

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產品簡介

M-Spin 200勻膠旋涂儀是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂儀適用于直徑大為8英寸的晶圓片,或大為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動工作,分配移動托盤,可定義數量。該勻膠旋涂儀配備了頂蓋的聯鎖機制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂儀包含一個內置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個19英寸外部控件上。

詳細介紹

產品參數:

可處理襯底尺寸:直徑大為8英寸的晶圓片,或大為6英寸 x 6英寸的襯底;

旋轉速度:達9,000 rpm(以1 rpm步長可調);

固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;

處理時間:(1-999秒,可在1秒內調整);

加速度:1-5,000rmp/sec;

其他參數:20個程序段,每個40步

設備尺寸:約 480mmx 360mm x 416mm(不帶蓋子)

 

 

選配件:

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

 

 

主營產品:

Laurell勻膠機     

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀  

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機       

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統,濕站系統     

Wabash/Carver自動壓片機

控制器尺寸:約 145mmx 100mm x 120mm

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