應用程序示例

1.半導體制造

?光刻膠去除（剝離）及其殘留物（去除浮渣）。
?有機焚燒（灰化），各向同性去除有機聚合物（如聚酰胺等）和氧化硅/氮化物。
?引線鍵合前的清潔或表面改性（粘合劑廣告和芯片載體）
?各向同性蝕刻

2.光學和眼科

工業洗滌后的原子水平清洗和預處理，以提高防眩涂層的附著力，耐刮擦; 聚合層劃傷和防霧。

3.紡織工業

清潔和表面改性，以便在天然或合成纖維上染色或印花之前獲得親水表面。（僅用于研發目的，不適用于大規模生產）

4.生物醫藥

表面清潔和改性適用于以下應用：

?植入裝置（增加潤滑性，加快骨整合）

?不同材料（如注射器針頭，導管等）之間的粘接

?在典型的工業清潔循環后，從有機殘留物中進行終的超細原子級清潔

?接觸式和*。

?支架

?樣品瓶

?對敏感塑料材料進行滅菌

5.精密機械

工業洗滌后在金屬和陶瓷表面的原子水平進行清潔以改善可涂漆性或其他類型的涂層（例如PVD）。

6.塑料工業

用于潤濕性和不可潤濕性的表面清潔和改性

?粘接，焊接或涂裝/印刷前的表面清潔

?噴漆，印刷前表面活化

?表面氟化，增強功能

?交聯和表面聚合

工作原理

Tucano采用*的PLC和LCD彩色觸摸屏顯示器實現全自動化。 使用該系統，可以直接在系統組件上操作，或讓PLC根據用戶可編輯的配方執行過程。通過使用質量流量控制器（MFC）將一種或多種處理氣體引入處理室。 RF射頻被引入腔室; 與氣體分子相互作用，該信號產生等離子體。產生的等離子體提供作用于待處理的基板表面的*單層的反應性離子物質。 可以通過影響等離子體狀態的參數（氣體流量和頻率強度）來改變所得到的過程。

產品功能

臺式等離子系統，簡單而通用
?多可處理十種不同的可編輯配方
?*結果的*性
?數據記錄功能
?*可靠性
?使用的主要品牌組件，如真空泵、儀表和質量流量控制器（MKS儀器）

?可調節的RF功率水平，范圍為1W至200W