工作原理

Colibrì系統*由微控制器控制。 利用該系統，可以簡單地通過執行可由用戶編輯的9個配方中的一個來執行處理。 使用高精度針閥，將受控的氣流引入處理室。 將低頻信號（50kHz）施加到腔室內的電極，這與氣體分子相互作用從而觸發等離子體。 產生的等離子體提供與待處理基板表面的*單層相互作用的反應離子物質。 通過對工藝參數（氣體流量，信號強度，持續時間......）進行處理，可以改變生成的過程。

產品功能

?臺式等離子系統，簡單通用
?多可處理十種不同的可編輯配方

?*結果的*性
?*可靠性
?使用主要品牌組件

技術規格

尺寸         寬 x 長 x 高       450 x 370 x 180 mm

凈重               16 Kg （不含真空泵）

凈空               右，左，前 - 600mm，后 - 300mm