無氦低溫探針臺

CPS-CF成本低，穩定，可靠，方便在非常低的溫度對器件和電路的探測。內置隔振，智能熱管理和工程熱補償，使這個系統非常適用于廣泛的納米電子學，從跨越應用程序（石墨烯研究，分子電子學等）。該系統采用閉式循環制冷機和專有的熱管理，具有經濟快速的操作。內置隔振的振動小化符合行業標準的水平。超穩定的微操縱階段允許在設備功能的探針*的準確和可重復的接觸。探頭和硅片夾的多種選擇允許應用程序超精密，FA-規模的測量，射頻測量等等

具有成本低，穩定，可靠，方便的使用的優點

- 溫度范圍從4.5K到480K（0.1K精度）

- 閉環循環制冷機 成本低

- 高達2英寸的直徑樣品

- DC至67GHz的測量

- 4 微控探頭臂（多8個提供選裝配置），高度精確的XYZ和可選θ調整

-熱錨定探針針尖

- 溫控輻射屏蔽

方便的頂部觀察窗口（高純度的石英）

- 高頻振動阻尼

- 定制的高水平，以適應各種的探測需求

詳細參數

可達50mm

無液氦 封閉循環制冷機包括冷頭，壓縮機，制冷機和氦要求軟管

溫度范圍：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K

控溫精度：0.1K

熱錨探頭武器和輻射屏蔽

chuck溫控（加熱）盤

夾頭和探針臂的溫度監控

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層

變焦70系統（4UM分辨率）標準，縮小125或160變焦系統可作為選件，以及更便宜的解決方案

同軸LED照明

數碼相機從100萬像素到10百萬像素附帶相機的圖像和視頻捕捉軟件，以及尺寸測量能力

基于LabVIEW的軟件進行計算機控制和溫度監控，可以由終用戶很容易地編程

空氣減震系統隔振表

- 無振動隔離波紋管

低溫探針臺的特點：

全自動真空探針臺由美國MicroXact公司生產，該探針臺通過真空系統、氣體壓力系統及自動化軟件實現對系統真空腔內真空度的精確控制，通過光學顯微鏡及搭配的數字成像系統實現對測試晶圓影像的捕捉及存儲，并通過軟件控制自動馬達根據設定程序實現晶圓測試過程中的自動對準及移動測試功能。同時配置的變溫載物臺通過加熱和冷卻裝置實現樣品的變溫測試目的。