(1)等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

A：對材料表面的刻蝕作用-物理作用

等離子體中的大量離子、激收態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而不會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

B：激活鍵能，交聯作用

等離子體中的粒子能量在0-20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0-10eV，因此等離子體作用到固固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

C：形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會產生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

(1)真空等離子清洗的優勢

不傳統的一些清洗方法，如超聲清洗、UV清洗等，具有以下優點：

A：處理溫度低

處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

B：處理全程無污染

等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。可以與原有生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。

C:處理效果穩定

等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。

(1)產品原理

等離子清洗的機構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。

A:控制單元

控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。而控制單元又分為兩個大的部分：1）電源部份：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子。2）系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。

B:真空腔體：

真空腔體主要是分為三種材質的：1）不銹鋼真空控體；2）石英腔體；3）高強度鋁合金腔體。

C：真空泵：

真空泵種類較多，其選擇會根據用戶的真空度要求、體積要求來配置。

1.技術規格、基本配置

2.性能優勢

A:*電源：采用*高壓激勵電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。

B:全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。

C：*放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。

D:密封性的真空腔體設計：*級的高真農藥度真空腔體設計及制造工藝，配置進口真空泵。

E：優勢產品部件：產品全部部件采用國內外優質部件，確保設備性能*。

F：超低真空溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響。

G：精密數控加工：進口精密CNC數據機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質量監控。

H:適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，*均勻清洗。

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