進口超高純減壓器 氣體減壓器 美國力沃減壓閥

超高純減壓器簡介：

適用于超高純凈氣體應用，采用內部無螺紋、非焊接膜片結構。膜片和閥體的密封產用了硬密封的設計，降低泄漏率，同時提高了安全性和使用壽命。

結構特點 Features

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安裝和后座安裝

壓力表標準連接： 1/4” FSR(M)

可選：1/4” FSR (F)

內部電解拋光

高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業

使用壽命長

通過氦氣測試

材質 Materials

母體：316L

閥座：PCTFE

膜片：316

上蓋：316

功能特性 Functional Performance

流量：Cv=0.054

母體泄漏率：2x10 -8 atm cc/sec He

閥座泄漏率：4x10 -8 atm cc/sec He

設計驗證壓力：zui大額定壓力的 150%

設計爆破壓力：zui大額定壓力的 400%

進口超高純減壓器 氣體減壓器 美國力沃減壓閥

工作條件 Operating Conditions

zui大的入口壓力：300 psi (20 bar)

出口壓力：0- 30 psi (2 bar)

溫度： -18℃~60℃(0℉~140℉)

流道表面 Surface Finish

標準：Ra 20μin

可選：Ra 10μin

內部容積 Internal Volume

9.3 cc