瑞澤RZ-YA-4D型光譜聯機氬氣純化器凈化機

凈化原理

該凈化機利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應生成二氧化碳，從而除去氬氣中的雜質氧氣，再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H₂O、CO₂等雜質，再利用合金吸附劑吸附脫除氬氣中剩余的的N₂等惰性雜質，即可得到高純氬氣。

瑞澤RZ-YA-4D型光譜聯機氬氣純化器凈化機技術參數

一般瓶裝純氬，液氬、控制較好的管道氬氣。

雜質要求： O₂≤1000PPm, H₂O≤1000PPm。

輸出純氣

純度：99.9999%

雜質含量：

O₂≤0.1PPm，

H₂O≤1PPm(即露點≤－76℃)，

N₂≤0.5PPm

CO+CO₂≤0.1PPm，

S、P的氧化物≤0.1PPm。

塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升。

工作壓力：0.4-0.8MPa。

處理氣量：4NM³/h。

設備尺寸：600mm×700mm×1600mm

設備重量：150kg

設備特點

1、可靠性高，與光譜儀聯機正常運行*；

2、穩定性高，不會因切換氣瓶，切換工作而降低氣體質量，保證光譜儀的連續運行；

3、節能環保，比同類別裝置降低電耗20-30%，氣體純化效率高；

  4、氣體前處理為復式工藝流程，即：一組工作另一組再生備用，保證連續*供氣，同時降低了合金塔材料的消耗，節約了耗材的開支；

5、設備對原料氣要求不高，普氬（99.9%）就能滿足需要，更大的方便了客戶；

6、外觀設計簡潔，美觀；

7、整機結構緊湊，占地面積小，無需場地；

8、操作，維護簡單方便，無需配備專門人員。

可與美國熱電，德國斯派克、OBFL、布魯克；瑞士ARL，牛津光譜、日本島津，北京納克，英國阿朗，北京瑞利等多家光譜儀公司生產的直讀光譜儀、熒光光譜儀、輝光光譜儀配套使用，以增強分析數據的可靠性和穩定性，同時可以較大的節省購買高純氬氣的成本。該型機器尤其適用于與帶氮通道的直讀光譜儀配套使用，同時該凈化機也可用作高純材料（如單晶硅、多晶硅、高純金屬）生產的保護氣氛。