日本OPION真空泵KHH251-101

日本OPION真空泵KHH251-101

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

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• 詞條圖冊

目
錄

• 1發展歷史
• 2結構特點
• 3機械選擇
• 4基本分類
• 5性能參數
• 6術語解釋

• 7應用情況
• 8測量方式
• 9選型方式
• 10維護保養
• 潤滑油
• 電機溫度高

• 泵軸軸承位磨損
• 腐蝕
• 殼體裂紋破裂
• 冒煙和噴油
• 11詞條圖冊

1發展歷史

編輯

2SK水環真空泵隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中*的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

2結構特點

編輯

真空泵（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

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2SK水環真空泵隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中*的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

2結構特點

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真空泵（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

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2SK水環真空泵隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中*的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

2結構特點

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真空泵（1)泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2)泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

 EA        KA110028-NE092100    減壓閥
TITAN        669 VS32L    焊條
Conductix        51-S265-0011-001    集電器
norelem Normelemente KG        03021-206    零件
schmalz        SEM 100 SDS，NR.10.02.01.00321    真空發生器
heidenhain        369104-01    編碼器
heidenhain        ERN 1331 1024 62S12-30 K Id.Nr.735117-61    編碼器
ACS        SVA0-MPUTS/24V DC，Artikel.：40430120    放大器
Phoenix        QUINT-PS/ 1AC/24DC/10;2866763    電源
ADOS        ADOS 592 TOX CO    探頭
ATOS        RZMO-A-030/315-SP-666    液壓閥
SMW        slu-2-Zs(id:025402)    中心架
SIEMENS        7ME4500-2DN82-1AA1    液位計
Siba        NR.5012606.10    感應傳感器
AEG        Typ: 2P 400-75 H,E-Nr.: 2.000.000.272    調功器
TECNA        60019311 0.4-1kg    噴嘴
ATOS        DHZO-TE-071-L5    閥
Gestra        RK86 DN100 PN16    油壓閥
Vahle        NR:230118 SWMT 7/40-1 HS    集電器
hydac        EDS345-1-250-000    壓力傳感器
Micro Innovation AG        XV-252-57MPN-1-10    顯示屏
robopac        92027033    電刷
SIEMENS        7ML5427-0CL00-0AA0    液位計
hydac        EDS 3316-3-0016-000-F1    壓力傳感器
Pepperl+Fuchs GmbH        KFD2-EB2    安全柵
SIEMENS        6DD1842-0AA1    模塊
heidenhain        310128-06    電纜
Beck GmbH        901.20111B2    壓力測試單元
MARPOSS GmbH        F20387    傳感器
teltronik        00009585 Microcontroller CPU 6.1    模塊
Celsa        PQ72n 4-20mA,NR.70097-2544    萬用表
GUILLMIN        K2627A    碾鉚頭
Vickers        4CK301S    閥
hydac        HDA 3744-E-400-000    壓力變送器
SIEMENS        7ML5033-1BA001A    液位計
OTT        HSK A63.95.600.073.9.2    拉力計配件
Hawe        BVG 3 S-G24    閥門
Beck        930.84 30-400pa    壓力測試單元
Phoenix        MACX MCR-UI-UI-UP-NC 2811297    隔離放大器
CAPTRON        LLM1356/10M-40°C-300°C    高溫接近開關
Hoentzsch        ZS30/30-550GE-md3T/350/p6/ ZG4    流量計
j-schneider        AKKUTEC 2420-0 3PH, NBPA0313G01002    電源模塊
Turck        BL67-2RFID-A Nr:6827225    模塊
B&R        3TB170.91    控制模塊無錫德為源自動化科技有限公司德國寶得burkert德國的一個品牌，專業從事過程產品，如電磁閥，蝶閥，球閥，角座閥，止回閥，過濾器，氣動驅動，傳感器和控制器等生產銷售。目前在*有4個研發中心5個生產地點35附屬公司，3000多員工（至2013年）。六十多年來，Burkert一直致力于流體控制領域的產品和系統的研發、制造。如今Burkert已發展成一個擁有三千多名員工、在德國，法國及中國擁有五家生產廠。在四十多個國家和地區設立了分公司的跨國集團，成為流體控制系統領域的*者。
“Burkert”在*的發展過程中，非常重視技術創新和新品開發。通過針對性的產品設計、現代化和加工工藝、嚴格認真的質量檢驗和切實的市場預測，形成了以“通用電磁閥系統”“過程控制閥系統”“氣動控制閥系統”“液體分析閥系統”以及“傳感器/變送器”和 “控制器”為主體的六大系列產品。基于“Burkert”產品精巧的設計、的性能和完善的服務，使“Burkert”產品在流 體控制領域始終處于*地位。 “Burkert”生產的 “環氧樹脂封裝線圈”以及“電纜連接插頭 ”已成為ISO質量標準。“Burkert”發明的 “先導銜鐵電磁系統”“搖臂式電磁閥”及“脈沖 線圈”就是公司不斷創新發展的證。
目前，Burkert專業化的流體控制系統產品已廣泛應用于各行各業,尤其在水/污水處理、啤酒飲 料、食品加工、制藥及醫療設備、消毒清洗、及紡織化工等領域更是有著*的優勢和廣闊的市場前 景。而且在一些苛刻的工作情況下，如衛星、太空試驗室、核反應堆及深海探測裝置中，“Burkert”產品也顯示了其精確性和可靠性.型號描述
6213 EV 為伺服輔助式S.EV系列電磁閥。通過膜片的彈性耦合打開閥門。其標準型適用于液體。要*打開閥門，需要一個小壓差。有一個特殊型（HP00）可以不需要壓差打開閥門，適合于氣體和真空應用。根據不同的應用，可以選擇各種膜片材質。標準供貨的黃銅閥體符合所有歐洲飲用水標準的要求。具有無鉛或抗脫鋅腐蝕黃銅式，適合于其它應用。閥體材質還有不銹鋼式。電磁線圈采用耐化學腐蝕的環氧樹脂封裝。所有線圈都可以帶降功耗電子線路，用于節能。與 DIN EN 17301-803 A 型電纜插頭配套，該閥的安全防護等級為 IP65，不銹鋼閥體式 NEMA 4X。
1）伺服輔助式隔膜電磁閥，大通徑 DN 40
2）彈性耦合膜片，沒有差壓也可以打開閥門
3）防震線圈
4）阻尼設計，閥門動作
5）一體成型的閥體具有較高的表面質量

⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下*工作。

⑺真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

⑻真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。

⑼真空泵的價格、運轉及維修費用。

機械安裝

⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養。

安裝原理圖⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩，振動小。

⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）

⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。

⑸按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。

⑹真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）

⑺對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。

⑻如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。

⑼當真空泵排出氣體影響工作環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

4基本分類

編輯

氣體傳輸泵

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：

變容真空泵

利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：

（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種形式：

① 油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種形式。

a旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。

b.滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。

c.定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。

d.余擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。

e.多室旋片式真空泵：在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。

②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變容真空泵。

③液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環液，環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。

④羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。

動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。

（1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：

① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。

②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。

③ 復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的一種復合式分子真空泵。

（2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：

① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。

② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。

③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質的餓噴射真空泵

（3） 擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為：

① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵

② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。

（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。

（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

氣體捕集泵

這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。

吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵

吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。

吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。

（1）蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。

（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。

低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

按其真空度可以分為：粗真空、高真空、高真空三大類。

粗真空系

主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。

主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。

是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。

無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的*隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了*的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。

高真空系

滑閥式真空泵

（Rotary Piston Vacuum Pump）

廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中。

滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。

用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

真空泵(2)旋片式真空泵

( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。

羅茨真空泵

( Roots Vacuum Pump )

是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內較大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。

5性能參數

編輯

壓強范圍

真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水環式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1