化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
碳材料熱工裝備 *立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 技術(shù)特征
采用*的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
采用設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。
碳材料熱工裝備 *立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）|ACME頂立科技 主要配置
爐門：絲杠升降/液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國(guó)歐陸
熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/B分度號(hào)
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
電器元件：正泰/施耐德/西門子
產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)型號(hào) | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 | Φ1500×2000 |
zui高溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
極限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 | ||||||
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