詳細(xì)介紹
1.二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀HHY8-GL-1
二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀HHY8-GL-1本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,特別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來(lái)越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前,在美國(guó)、德國(guó)等*的工業(yè)國(guó)家,均采用了二探針?lè)ǎ褂枚结槞z測(cè)儀來(lái)測(cè)量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。
儀器符合美國(guó)ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測(cè)量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),是一種新型的半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針?lè)ň_測(cè)量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,指導(dǎo)和工藝操作,也可以用來(lái)測(cè)量金屬材料的電阻,儀器具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、造型美觀等特點(diǎn)。也可以配四探針測(cè)試頭作常規(guī)的四探針?lè)y(cè)量硅晶體材料。
儀器分為儀表電氣控制箱、測(cè)試臺(tái)、探頭三部分,儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測(cè)量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗高,并設(shè)有自校功能。在棒狀材料使用二探針?lè)y(cè)試時(shí),具有系數(shù)修正功能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu)新穎,造型美觀,可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品,并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測(cè)量,也可以自由選擇固定位置測(cè)量,電極活動(dòng)自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測(cè)量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測(cè)試探頭能自動(dòng)升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測(cè)量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長(zhǎng)特點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.可測(cè)硅材料尺寸:
直徑Φ25~Φ150mm滿(mǎn)足ASTM F-397的技術(shù)要求。
長(zhǎng)度:100~1100mm.
2.測(cè)量方式:軸向測(cè)量,每隔10mm測(cè)量一點(diǎn)。
3.測(cè)量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。
4.數(shù)字電壓表:
(1)量 程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測(cè)量誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
(3)輸入阻抗:0.2mV和2mV檔>106Ω
20mV檔及以上>108Ω
(4)顯 示:31/2位LED數(shù)字顯示,范圍0~1999。
5.恒流源:
(1)電流輸出:直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。
(2)量 程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.二探針測(cè)試裝置:
(1)探針間距:4.77mm
(2)探針機(jī)械游移率:0.3%
(3)探針壓力:0~2kg可調(diào)
(4)測(cè)試探頭自動(dòng)升降
7.二探針測(cè)試臺(tái)
(1)測(cè)試硅單長(zhǎng)度:100-1100mm
(2)測(cè)試點(diǎn)間距:10mm
(3)測(cè)試臺(tái)有慢、快二種移動(dòng)速度,快速移動(dòng)速度為1000mm/分(均勻
手動(dòng))
8.電源:交流220V±10%,50HZ±2HZ,消耗功率<150W
2.數(shù)字式四探針測(cè)試儀HHY8-SZT-2000
HHY8-SZT-2000型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是根據(jù)四探針測(cè)試原理研究成功的多用途的綜合測(cè)量裝置,它可以測(cè)量棒狀、塊狀
半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測(cè)量,可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測(cè)硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質(zhì)量監(jiān)測(cè)的必需儀器。
儀器為臺(tái)式結(jié)構(gòu),分為電氣箱、測(cè)試架兩大部分,用戶(hù)可以根據(jù)測(cè)試需要安放在一般工作臺(tái)或者工作臺(tái)上,測(cè)試架由探頭及壓力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、樣品架組成,耐磨和使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置,壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào),測(cè)試架設(shè)有手動(dòng)和電動(dòng)兩種裝置供用戶(hù)選購(gòu)。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成,測(cè)量結(jié)果由數(shù)字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對(duì)儀器的電氣性能進(jìn)行校驗(yàn)。
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn),儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門(mén)、高等院校,對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試及工藝檢測(cè)。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1. 范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴(kuò)展至105Ω—cm,分辯率為10-6Ω—cm
方塊電阻10-3—103Ω /□
電阻10-6—105Ω
2. 可測(cè)半導(dǎo)體尺寸:直徑Φ15—150mm
3. 測(cè)量方式:軸向、斷面均可(手動(dòng)測(cè)試架)
4. 數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測(cè)量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)
2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)
(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
20mV檔以上>108Ω
(4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示,0—1999
具有極性和過(guò)載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
5. 恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
(3)電流誤差:±(0.3%讀數(shù)+2字)
6.四探針測(cè)試探頭 (1)探頭間距:1mm (2)探針機(jī)械游率:±0.3%
(3) 探針:Φ0.5mm (4)壓力:可調(diào)
7. 測(cè)試架:
(1)手動(dòng)測(cè)試架:探頭上升及下降由手動(dòng)操作,可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測(cè)試。
(2)電動(dòng)測(cè)試架:探頭的上升和下降由電動(dòng)操作,設(shè)有自動(dòng)控制器控制,探頭上升時(shí)間1S—99S可調(diào),探頭下降時(shí)間1S—99S可調(diào),壓力恒定可調(diào)(由砝碼來(lái)設(shè)定)同時(shí)設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開(kāi)關(guān)控制探頭上下運(yùn)動(dòng)。
8.電流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗<35W
9. 外形尺寸:電氣箱130×110×400mm
3.半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀HHY8-BD-86A
HHY8-BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是我廠推出的的普及型半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀器,本儀器是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測(cè)量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測(cè)量金屬薄層電阻,經(jīng)過(guò)對(duì)用戶(hù)、半導(dǎo)體廠測(cè)試的調(diào)查,根據(jù)美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破,它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測(cè)方面對(duì)中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測(cè)量需要,成為普及型的電阻率測(cè)試儀,具有測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1. 測(cè)量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴(kuò)展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴(kuò)展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω
2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長(zhǎng)度:150mm(可擴(kuò)展500mm)
3.測(cè)量方式:軸向、斷面均可
4.?dāng)?shù)字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V
(2)測(cè)量誤差:±0.3%讀數(shù)±1字
(3)輸入阻抗:大于108Ω
(4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示
0---1999具有極性、過(guò)載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
5.恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能
(1) 直流電流:0—100mA連續(xù)可調(diào)
(2) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3) 分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4) 電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM指標(biāo)
7.測(cè)試探頭:(1)探針機(jī)械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指標(biāo)
8.電源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W
9.電氣箱外形尺寸:119×440×320mm
4.半導(dǎo)體粉末電阻率測(cè)試儀HHY8-FZ-2006
本儀器是為了適應(yīng)當(dāng)前迅速發(fā)展中的高分子半導(dǎo)電納米材料電阻率測(cè)試需要,參照有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。 儀器的電流輸出為 10 µA - 100 mA ,電阻率測(cè)試范圍為 10 -2 - 10 5 Ω cm ,直接采用數(shù)字顯示。儀器的可靠性和
穩(wěn)定性大大增強(qiáng),更方便于用戶(hù), 而且價(jià)格低廉、實(shí)惠。配置不同的測(cè)試架可以對(duì)半導(dǎo)體粉末、高分子納米粉末和固態(tài)金屬進(jìn)行電阻、電阻率多用途的測(cè)量。
適用于有機(jī)、無(wú)機(jī)半導(dǎo)體粉末材料(包括納米級(jí))的電阻率測(cè)量, 也可以測(cè)量固體半導(dǎo)體材料,特別適合于太陽(yáng)能多晶硅、硅粉質(zhì)量的測(cè)量、分選和質(zhì)量控制. 電阻率值直接數(shù)字顯示由具有高精度加壓系統(tǒng), 高度測(cè)量的測(cè)試臺(tái)和儀器組成.
儀器主要包括電氣箱和測(cè)試架兩部分,電氣測(cè)試部分由高精度直流數(shù)字電壓表和直流恒定電流源組成。測(cè)試架為壓力傳感器, 加壓機(jī)構(gòu)和粉末標(biāo)準(zhǔn)容器組成。壓力機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)操作、壓力平穩(wěn)。本儀器具有測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,重復(fù)性好,使用方便等特點(diǎn), 并有自校功能。
本儀器采用通用的電流-電壓降法即四端子測(cè)量法,可以消除電極與粉末接觸產(chǎn)生的接觸電阻誤差,還可以消除聯(lián)接系統(tǒng)所帶來(lái)的誤差, 克服了以往傳統(tǒng)的二端測(cè)量粉末電阻率儀器的弊病,真實(shí)、準(zhǔn)確地測(cè)量出粉末樣品的電阻率,因此重復(fù)性好。
本儀器適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門(mén)、是檢驗(yàn)和分析固態(tài)、粉態(tài)和納米樣品質(zhì)量的一種重要工具。
技術(shù)參數(shù);
- 測(cè)量范圍:< >電阻 10-4 - 105 Ω, 分辨率 10-4 Ω電阻率 10-4 - 105 Ω.cm,分辨率 10-4 Ω.cm測(cè)量誤差 ±(0.3% 讀數(shù) + 2 字)
- 測(cè)量電壓量程:20mV, 200mV, 2V,分辨率 10 µV
測(cè)量精度: ±(0.3% 讀數(shù) + 2 字) - 測(cè)量電流:0 - 100 mA 連續(xù)可調(diào),
電流量程:10 µA, 100 µA, 1 mA, 10 mA, 100mA - 試樣粒度:40 目以下 - 60 目以上(標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng))納米粉末
- 試樣容器:內(nèi)腔Φ16.30 ± 0.1mm
- 試樣高度:16mm ± 0.5mm
測(cè)量誤差:±0.1mm - 取樣壓力:4 Mpa ± 0.05 Mpa ( 40 kg/cm² ± 0.5 kg/cm²)
壓力量程:0 - 100 kg 可調(diào) - 顯示方式: 電阻、電阻率、壓力為 3 1/2 數(shù)字顯示,并自動(dòng)顯示單位和小數(shù)點(diǎn)
- 電源:220 ± 10% , 50HZ-60HZ, 功率消耗 < 150W 消耗
- 外形尺寸電氣箱:440mm×120mm×320mm
- 備有粉末測(cè)試架和固態(tài)標(biāo)準(zhǔn)樣品測(cè)試臺(tái)供選用
5.微型高速*粉碎機(jī)HB-WWFS-Ⅱ
該機(jī)可用于破碎煤炭、焦炭、礦物質(zhì)、土壤、砂、石和植物種子。適用于煤炭、焦化
、地質(zhì)、醫(yī)藥衛(wèi)生、農(nóng)業(yè)、工業(yè)的科研單位和化驗(yàn)制樣室制取少量試樣用。
二、主要技術(shù)指標(biāo)
轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速:210000r/min
入料粒度:-6mm
出料粒度:≤60-120
每次入料量:≤50g
粉碎時(shí)間:3-5秒
電源:220V 50HZ
三、該產(chǎn)品特點(diǎn)
1、轉(zhuǎn)速高:≥10000轉(zhuǎn)/分
2、效率高:50g物料僅需要3-5秒便可完成粉碎,即簡(jiǎn)便又快速。
3、密封性好;工作中沒(méi)有被粉碎的物料泄漏,使工作環(huán)境保持清潔。
4、性能穩(wěn)定:可連續(xù)工作,使用壽命長(zhǎng)。