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西安等離子光氧廢氣處理設備工藝原理如下：1、利用高能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),*臭氧對有機物具有*的氧化作用，對有機氣體及其它刺激性異味有*的清除效果。有機性氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，運用高能紫外線光束及臭氧對有機（異味）氣體進行協同分解氧化反應，使有機氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
2、高能離子空氣凈化系采用正負雙極電離技術。在電場作用下，離子發生器產生大量的 a 粒子， a 粒子與空氣中的氧分子進行碰撞而形成正負氧離子。正氧離子具有很強的氧化性，能在極短的時間內氧化分解、氨、等污染因子，且在與 VOC 分子相接觸后打開有機揮發性氣體的化學鍵，經過一系列的反應后zui終生成二氧化碳和水等穩定無害的小分子。同時氧離子能破壞空氣中細菌的生存環境，降低室內細菌濃度。帶電離子可以吸附大于自身重量幾十倍的懸浮顆粒，靠自重沉降下來，從而清除空氣中懸浮膠體達到凈化空氣的目的

  3、催化劑（*）在受到紫外線光照射時生成化學活潑性很強的超氧化物陰離子自由基和氫氧自由基，攻擊有機物，達到降解有機物的作用。*屬于非溶出型材料，在*分解有機污染物和殺滅菌的同時，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的殺菌、降解污染物效果。
二、 西安等離子光氧廢氣處理設備產品性能綜述
一、高效降解有機化學物：能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，脫臭效率可達99.9%以上，脫臭效果大大超過國家1993年頒布的惡臭污染物排放標準（GB14554-93）．

二、無需添加任何物質：只需要設置相應的排風管道和排風動力，使氣體通過本設備進行脫臭分解凈化，無需添加任何物質參與化學反應。
三、適應性強：可適應高濃度，大氣量，不同有機化學氣體物質的凈化處理，可每天24小時連續工作，運行穩定可靠。
四、運行成本低：本設備無任何機械動作，無噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查，本設備能耗低，（每處理1000立方米/小時，僅耗電約0.1度電能），設備風阻極低＜30pa,可節約大量排風動力能耗。