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上海民儀電子有限公司

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DIS-251日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵

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更新時間：2016-08-31 09:14:49瀏覽次數：263

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【簡單介紹】

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實現操作運行。
? 可實現高極限真空。
? 低振動低噪音

【詳細說明】

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現操作運行。

• 可實現高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、應用

• 分析設備

• 氣體回收系統

• 涂料設備

• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導體制造工藝

三、規格參數

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