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測厚儀 型號:DP-TPY-1 概述

2017-3-31 閱讀(131)

橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:DP-TPY-1
在近代科學技術的許多領域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數,如:布儒斯特角法測介質膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優點,因而,橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、醫學等諸多領域得到廣泛應用。
產品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
光源采用氦氖激光器,功率穩定、波長精度高;
儀器配有生成表、查表以及計算等軟件,方便用戶使用。
 
規格與主要技術指標:
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;      折射率范圍:1-10
測量zui小示值:≤1nm                      入射光波長:632.8nm  
光學中心高:80mm                         允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:±1nm和±0.01
主機重量:25kg    入射角連續調節范圍:20°- 90°精度為0.05°
 
成套性:主機、電控系統、計算軟件
外形尺寸:680*390*320mm



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