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等離子表面處理設(shè)備應(yīng)用

點(diǎn)擊次數(shù):155 發(fā)布時(shí)間:2014-6-27

  隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,各種工藝對使用產(chǎn)品的技術(shù)要求越來越高,等離子表面處理技術(shù)的出現(xiàn),不僅改進(jìn)了產(chǎn)品性能、提高了生產(chǎn)效率,更實(shí)現(xiàn)了安全環(huán)保效應(yīng)。等離子表面處理技術(shù)能夠在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)和牙科醫(yī)療等領(lǐng)域得到應(yīng)用。
  
  正是這種廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和巨大的發(fā)展空間使等離子表面處理技術(shù)迅速在國外發(fā)達(dá)國家發(fā)展起來,
  
  根據(jù)調(diào)查數(shù)據(jù)顯示:等離子表面處理設(shè)備總產(chǎn)值在2008年已達(dá)到3000、億人民幣。
  
  然而我們不得不沉思是什么原因使等離子表面處理技術(shù)在短短的20幾年中發(fā)展的如此迅速。
  
  (一)等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用等離子,即物質(zhì)的第四態(tài),是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。這種電離氣體是由原子,分子,原子團(tuán),離子,電子組成。其作用在物體表面可以實(shí)現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻、精整以及等離子表面涂覆。根據(jù)等離子體中存在微粒的不同,其具體可以實(shí)現(xiàn)對物體處理的原理也各不相同,加之輸入氣體以及控制功率的不同,都實(shí)現(xiàn)了對物體處理的多樣化。因低溫等離子體對物體表面處理的強(qiáng)度小于高溫等離子體,能夠?qū)崿F(xiàn)對處理物體表面的保護(hù)作用,應(yīng)用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現(xiàn)出來的作用也個(gè)不相同的,原子團(tuán)(自由基主要是實(shí)現(xiàn)對物體表面化學(xué)反應(yīng)過程中能量傳遞的“活化”作用。

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