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技術文章

真空測量的時候如何選擇真空計?

點擊次數:436 發布時間:2020-3-18

  真空測量技術具有以下特點:

(1)測量范圍廣。 真空技術的發展已經實現了1.1×105Pa到10-14Pa的壓力范圍,其寬度為19個數量級。 因此,不可能依靠測量原理和真空計來實現整個真空測量范圍。 不同類型的真空計對應于不同的壓力測量范圍,即不同的范圍。 

(2)大多數是間接測量。 除高壓真空區域(105?10Pa)外,均使用壓力的直接測量,而低壓空間氣體的大多數測量是通過利用低壓氣體的某些特性(例如導熱,電離)進行的。 等等)用于間接真實空氣空間測量,因此校準相對真空計更為重要。 

(3)通常使用電氣測量技術。 大多數間接測量真空計都使用非電氣測量技術,因此測量響應速度快,靈敏度高,并為自動化創造了條件。 

(4)測量值與氣體類型有關。 大多數真空計的讀數與被測氣體的類型和成分有關,因此您應注意被測氣體的類型和成分,以免出現誤差。 

(5)測量精度不高。 在間接壓力測量過程中,通常需要引入外部能量(例如熱能,電能,機械能,輻射能等)。 由于引入了這些外部能量,不可避免地會發生測量誤差,并且稀薄氣體可能產生的測量信號非常微弱。 這確定真空計的測量精度遠低于其他物理儀器。

因此,將真空測量基準儀器和標準儀器的精度設置為(2?10)×10-2,并且工作儀器的測量誤差在±20×10-2之內相對準確。 真空定時的選擇應考慮以下幾個原則:

(1)所選擇的真空計在所用設備要求的壓力范圍內是否具有足夠的測量精度和整體性能; 

(2)被測氣體是否會損壞真空計; 

(3)選定的真空計為所測氣體空間是否會影響; 

(4)真空計測量的壓力值是全壓還是分壓,是否已校準,以及儀器的靈敏度是否與被測氣體類型有關。 

(5)選擇的真空計是否可以實現連續測量,電氣指示和響應時間?

  (6)儀器的穩定性,可靠性和使用壽命是多少?

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