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真空擴(kuò)散泵應(yīng)該怎么去使用？
點(diǎn)擊次數(shù)：507 發(fā)布時間：2020-3-16
擴(kuò)散泵是一種常用于高真空系統(tǒng)中的泵。采用某些技術(shù)措施獲得超高真空，方法如下：
（1）使用性能良好的擴(kuò)散泵油。 擴(kuò)散油泵上泵油的極限壓力影響很大。 例如，如果使用3號擴(kuò)散泵油，其極限壓力只能達(dá)到10-5 Pa。使用275硅油時，其極限壓力可以達(dá)到10-Pa，極限壓力增加兩個數(shù)量級。 數(shù)量級。 其次，泵送氣體的分壓也隨著泵油的不同而變化，這是泵油成分的影響。 為了使用油擴(kuò)散泵實(shí)現(xiàn)超高真空，必須選擇性能良好的擴(kuò)散泵油。 擴(kuò)散泵油的要求是：泵油的相對分子量應(yīng)大，室溫下的蒸氣壓應(yīng)低，熱穩(wěn)定性和抗氧化性應(yīng)好，凝固點(diǎn)和低溫粘度應(yīng)低 ，無毒，耐腐蝕，化學(xué)性低。
當(dāng)前，高真空油擴(kuò)散泵通常使用3號擴(kuò)散泵油，超高真空使用硅油，并且需要不包含烴的超高真空系統(tǒng)。 擴(kuò)散泵使用氟油。
（2）采用合理的烘烤工藝。 使用油擴(kuò)散泵獲得用于高溫烘烤的超高真空系統(tǒng)。 目的是降低材料的除氣率。 該材料可以在大氣壓下吸收和吸收一些氣體，在真空中會解吸，從而使氣體緩慢釋放。
為了促進(jìn)解吸，使用了不同的烘焙材料，并且烘焙溫度不同。 原理是溫度更高，氣體可以被加速。 但是，考慮到材料是否可以承受高溫，必須適當(dāng)選擇烘烤溫度。 。 通常，金屬材料（例如不銹鋼）的烘烤溫度為250?450℃，非金屬材料的烘烤溫度為80?100℃，烘烤時間超過4-8。 *的真空烘烤時間超過24小時。 表4-37和表4-39中顯示了典型的金屬油擴(kuò)散泵系統(tǒng)（烘烤后）的性能以及金屬油擴(kuò)散泵超高真空系統(tǒng)中的其余氣體成分。
（3）添加一個冷阱裝置，以防止泵油回流并遷移。 泵油通過泵的入口流到被泵送的容器的現(xiàn)象稱為回流。 油分子沿著容器壁移動到泵送容器壁中的現(xiàn)象稱為遷移。 回流和回流都會影響真空系統(tǒng)的極限壓力。 冷阱廣泛用于超高真空系統(tǒng)中，它安裝在泵的入口和泵的容器之間（也稱為真空室），不僅可以有效地捕獲擴(kuò)散泵的回流，還可以捕獲蒸汽 和部分裂解物。 來自真空室的蒸氣。 配備各種冷阱的超高真空系統(tǒng)。 經(jīng)過充分的高溫烘烤和脫氣后，可獲得10-8?10-10Pa（或更高）的超高真空。 普通的冷阱是液氮冷阱，因?yàn)樵谝旱獪囟认拢糜偷恼魵鈮哼h(yuǎn)低于超高壓。 經(jīng)過充分的高溫烘烤和脫氣后，可獲得10-8?10-10Pa（或更高）。 ）超高真空。