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配置真空泵的時(shí)候需要注意什么？
點(diǎn)擊次數(shù)：121 發(fā)布時(shí)間：2020-3-10
對(duì)于沒有漏氣或放氣的真空系統(tǒng)，如果真空腔室的容積為V，并且真空腔室的有效抽速為S0，則真空腔室中的壓力將在以下過程中隨時(shí)間變化： 抽水過程。
上述定律表明，在經(jīng)過每個(gè)時(shí)間后，真空室中的壓力下降了一個(gè)數(shù)量級(jí)。 顯然，t越小，壓力下降越快。 當(dāng)V恒定時(shí)，有效抽速S0越大，可以越小。
但是，沒有真空系統(tǒng)是無泄漏且沒有放氣的。
即使沒有泄漏，通氣也始終存在。 實(shí)際上反映了在除去真空室中氣體的過程中泵的壓力。 修改法律。 壓力高時(shí)，與空間中的氣體量相比，系統(tǒng)的泄漏和除氣量相對(duì)較小，其影響可忽略不計(jì)。 可以認(rèn)為無泄漏和無排氣的條件是近似的。 成立。 當(dāng)壓力低時(shí)，系統(tǒng)的泄漏和放氣不容忽視，甚至成為主要的氣體負(fù)荷，法則將發(fā)生偏離，這表現(xiàn)為壓降變慢。 通常，發(fā)生此轉(zhuǎn)變的壓力約為0.5Pa，因此真空系統(tǒng)的典型泵送過程首先會(huì)迅速降低壓力，然后開始減速至一定壓力。 因?yàn)楹细竦恼婵障到y(tǒng)對(duì)泄漏率有嚴(yán)格的要求，所以除氣是影響系統(tǒng)減壓的主要因素，除氣是一個(gè)緩慢的過程。 即使使用諸如烘烤之類的加強(qiáng)措施，也必須達(dá)到預(yù)定的壓力。
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