設(shè)計(jì)特點(diǎn) · 壓電式控制閥 · 金屬密封結(jié)構(gòu) · 響應(yīng)時(shí)間快 · 設(shè)計(jì)緊湊 · 316l/316ss不銹鋼結(jié)構(gòu) · 高精度達(dá)± 1％ p2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、精確控制的領(lǐng)域。其簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。*的熱式測(cè)量系統(tǒng)提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度上升小于5度。高級(jí)的控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可提供對(duì)小流量液體 進(jìn)行 快速、穩(wěn)定的控制。 p2000i系列同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計(jì)，用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場合。 d2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可讓響應(yīng)時(shí)間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保（高純度和泄漏完整性）。*的層流旁路和傳感器部件提供精確的測(cè)量，同時(shí)液體溫度僅上升5度，此外，d2000i的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。

液體流量計(jì)和控制器技術(shù)參數(shù) 流量范圍 ： p2000i系列和d2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（ipa）來標(biāo)定的，在測(cè)量其它液體介質(zhì)時(shí)需要乘以一個(gè)校正系數(shù)，具體請(qǐng)參考表一響應(yīng)時(shí)間 ： p2000i系列 ： 2s（ 設(shè)定點(diǎn)的2％之內(nèi) ） d2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內(nèi) ） 精度和線性 ：± 1％滿量程（p2000i系列）；±1％讀數(shù)（d2000i系列） 重復(fù)性 ： p2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續(xù)溫度下） d2000i系列：＜±0.2％讀數(shù) 量程比： p2000i系列：50：1（2％-100％滿量程） d2000i系列：20：1（5％-100％滿量程） zui大操作溫度 ： 40℃（104℉） zui大操作壓力： 125psig 溫度系數(shù) ：＜ 0.1％/℃ >設(shè)定點(diǎn)輸入 /流量輸出信號(hào) ： 0-5vdc/0-5vdc（輸出流量信號(hào)時(shí)：需zui小2kω電阻） 供電電源 ：﹢ 15vdc±10％（電流消耗＜200madc時(shí)） 泄露率 ： 1х10 -9 atm.cc/s he 預(yù)熱時(shí)間： 10分鐘（p2000i系列）；20分鐘（d2000i系列） 電氣連接 ： 9針d型 入口 /出口過程連接 ： 1/8″male vcr或1/8″swagelok 控制閥 ：壓電式常開 內(nèi)置容積 ：＜ 0.71ml（p2000i系列）；＜1ml （d2000i系列） 重 量 ：≤ 0.68kg

結(jié)構(gòu)材質(zhì) 主體： 316lss 傳感器組件 ： 316lss 閥構(gòu)成部件 ： 316lss（d2000i系列）；302ss和316lss（p2000i系列） “ o"型環(huán)：316lss 表 一