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北京莫瑞馳科技有限公司


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L300-精密型氦氣檢漏儀

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產品簡介

詳細介紹

技術參數

  
PhoeniXL300
PhoeniXL300Dry
PhoeniXL300Mudul
 zui小可檢漏率(真空模式)
mbar.l/s
 <5x10-12 <3x10-11 <5x10-12/<8x10-12
 zui小可檢漏率(吸槍模式)
mbar.l/s
 <1x10-7  <1x10-7  <1x10-8
 zui大可檢氦漏率(真空模式)
mbar.l/s
 >0.1  >0.1  >0.1
 抽氣口允許zui大壓強  mbar 15 15  15
 分流方式下抽氣口允許zui大壓強 mbar 1000  
 設計名義抽速 m3

 2.550Hz

 360Hz

 1.650Hz

 1.860Hz

16/2050/60HzD16B

25/3050/60HzD25B

30/3650/60HzScroll
 對氦的抽速  l/s >2.5 >2.5  >2.5
 帶D16B泵時的分流抽速  l/s 1650Hz  
 帶D25B泵時的分流抽速  l/s 2550Hz  
 氦信號的反應時間 s <1 <1 <1
 檢漏儀啟動時間  min <2 <2 <2
 質譜室 
1800扇形偏轉磁場
 可檢質量數 amu  4;3;2 4;3;2 4;3;2
 繼電器輸出   4 4 4
 SPS輸入   6 6 6
 測試口連接方式    DN25KF 
 手持遙控連接線長度  m  4zui長32 4zui長32 4zui長32
 功耗  VA 420 350 350
 尺寸 mm
495x456x314
 495x456x314 495x456x314
 重量 kg 40 37.5 29


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