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招遠普斯瑪等離子技術有限公司


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微波等離子清洗機

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產品型號WB300

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地煙臺市

化工機械設備網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2016-07-12 15:35:50瀏覽次數：351次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：11條

所在地區：山東煙臺市

聯系人：張經理 （銷售經理）

產品簡介

WB300采用高密度微波等離子技術，用于半導體生產中晶圓的清潔和等離子體預處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產生離子損害。

詳細介紹

 

  • ◆ 外形尺寸（不包括報警燈）
  • 1000（W）×800（D）×1750（H）  
  • ◆ 倉體結構（石英，約20升）
  • Φ 245mm ×400Lmm  
  • ◆ 等離子發生器（德國）
  • 頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續調節,可連續長時間工作
  • ◆ 控制系統
  • 觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
  • ◆ 真空系統（真空壓力PID閉環自動控制）
  • 英國愛德華斡旋式干泵 GV40
  • 美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器     
  • 中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管 
  •  ◆ 充氣系統
  • 美國MKS高精度電子質量流量計（2路氣體配制）
  • 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓
  • 日本SMC及CKD高真空氣閥組件 
 


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