卷材等離子處理系統,觸摸電腦+PLC多步流程全自動控制,全電路檢測,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性電路板、電池隔膜等卷筒材料清洗、刻蝕、活化、接枝處理,可選擇中頻、射頻、微波等離子處理模式
◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
1903(W)×980(D)×2075(H)mm
◆ 倉體結構(鋁,約800升)
600(W)×840(D)×800(H)mm
◆ 處理材料
材料直徑:zui大400mm ,材料寬度:100mm
◆ 等離子發生器
頻率13.56MHZ,功率0-2500W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作
◆ 控制系統
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件,性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S) x2臺(前級泵可選配愛德華干泵)
英國愛德華羅茨泵 EH1000(280L/S)
中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器
◆ 充氣系統
美國MKS高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥
美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件