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KW-4A勻膠機(Spin Coater)KW-4A

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  • 核鑫電子科技(上海)有限公司
  • 2016-01-17 02:06:28
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【簡單介紹】

KW—4A型勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝,主要應用于溶膠-凝膠(sol-gel)實驗中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

【詳細說明】

 

勻膠機(Spin Coater)KW-4A
KW—4A型勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝,主要應用于溶膠-凝膠(sol-gel)實驗中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
本機具有以下特點:
 1.電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩壓電源供電,電樞用運放控制IRF830調速,它比可控硅調速*,故其轉速在500—8000/分范圍內非常穩定。
2.本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后,先以低速運轉,然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。
3.本勻膠機采用光電檢測,數字電路測速,對電機的轉速檢測快速準確。電機穩速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路,使整機在高達8000RPM以上轉速時仍十分穩定,有力的保證了勻膠質量。
4吸片采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,提高效率。
5.勻膠機定時采用可調定時電路控制,面板上調節Timer旋鈕即可改變勻膠時間。
6.在安裝結構上,采取了減震措施,因而勻膠機在運轉時噪音很低。
7.電磁閥與電機運行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機運行,本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠,若運行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣,即不會產生跑片。
 
由于采用了以上一系列措施,故本機具有很高的轉速穩定性和快速啟動性,可以保證涂覆表面均勻,并可通過調節轉速調節涂覆厚度。
技術指標:
Speed調速范圍 500—2500/
Timer
勻膠時間 3—18
Speed
轉速范圍 800—8000/
Timer
勻膠時間 3—60
轉速穩定度 ±1%
電源電壓(二種) 220v/ 50Hz110v /50Hz
電機功率 40W
被鍍物質尺寸 Φ8—Φ150mm
真空泵抽氣速率 ≥60/
儀器尺寸:207×235×260 mm
包裝尺寸:300×250×280 mm
毛重:8 Kg
    
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