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上海納騰儀器有限公司
WIVS-II型 垂直掃描白光干涉表面輪廓測量儀
儀器的原理,主要構成與特點與WIVS-I型 基本相同,其區別如下:
1 、干涉顯微鏡為自主設計,具有4x、10x、20x、40x、60x、100x等顯微鏡組,用戶可根據測量視場范圍及橫向分辨率的要求挑選。而WIVS—I型由于是6JA干涉顯微鏡改造而來,其物鏡是固定的,為40x。因此WIVS-II型干涉顯微鏡的測量視場擴大了,顯微鏡的分辨率,范圍的選擇擴 大了。
2 、WIVS-II型 垂直掃描白光干涉表面輪廓測量儀垂直掃描時的驅動對象為:
驅動鏡頭進行垂直方向的掃描。
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