001 型, 002 型, 003A 型 質量流量控制閥門技術參數
流量范圍* :從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃( 14 ~ 158 ℉)
zui大操作壓力: 1000PSIG ( 6.9 MPa ) ,具體請參考表一
安裝方向 :對位置不敏感
額定工作電壓 : 4-11VDC (zui大 24VDC )
額定工作電流 : 150mADC (zui大 275 mADC )
閥線圈電阻 : 80 ± 4 Ω( 001型和003A型) ; 63 ± 3 Ω( 002型)
重 量 :請參考表一
結構材質
主體: 316 不銹鋼
孔: 316 不銹鋼
閥組件(接液): 001 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802
002 型: 302SS , 316SS , Sandvik1802
003A 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik1802
密封材質(” O ”型環和閥座): 001 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
002 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
003A 型: Buna N , Viton
* 注:上述流量范圍反映的是氮氣標定下產生的zui小流量和zui大流量,可采用其它介質的流量范圍,當操作參數有疑問時為了保證選型,請咨詢廠家。