橫河電機YOKOGAWA臺式微量氧氧氣分析儀OX400

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更新時間：2018-03-09 07:11:45瀏覽次數：743次

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上海暉盈實業有限公司

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產品簡介

氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
用于半導體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量，測量氧氣

詳細介紹

特點：

使用壽命長，響應速度快：

由于使用了橫河電機的新型薄膜沉積技術，傳感器的壽命周期提高了三倍

圓柱形傳感器設計便于置換被測氣體，確保高速響應

高性能和高可靠性：

即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性

在不同應用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

內置功能和多種自診斷功能：

自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關功能

提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

出眾的維護性：

可現場更換傳感器

小型輕量，易于安裝

主要技術參數：

測量對象	惰性氣體中的氧氣濃度（易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測量系統	氧化鋯系統
采樣方法	泵式、抽提式等
樣氣條件	流速：200±25ml/min（僅適用于傳感器）溫度：0～50℃（無結露）濕度：無結露壓力：0～300PaG zui大容許壓力：30kPaG
測量量程	0～10ppm O2至0～100vol% O2
輸出量程	自動：	0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%（默認）
	固定：	設為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%
	部分：	可設置下限值或上限值
模擬輸出	2路輸出，第一路：4～20mA DC（zui大負載電阻550Ω），第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC（負載電阻：10kΩ或更大）
接點輸出	報警輸出2點：			錯誤接點，O2濃度報警接點
	量程范圍輸出1點：			接點輸出
	多選擇器（選配件）：			流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
接點輸入	1點：采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF
自診斷	故障：	傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止
	報警：	加熱器不穩定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限
串口通信	RS-232，38400 bps
標定方法	（1）3點：10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點：可設定為零點氣和量程氣標定，（3）1點，（4）空氣標定
暖機時間	20分以內
電源	100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz
功耗	100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大
尺寸	213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質量	約5kg
管線連接	氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內螺紋氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內螺紋
環境條件	安裝條件：		室內，盤裝或壁裝，非易燃區域
	環境溫度：		0～40℃，無結露
	環境濕度：		5～85%RH
	儲存溫度：		-5～50℃
重復性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
線性	±2%F.S. ±3%F.S.（0～100ppm或更低）
響應時間	90%響應 10秒內（0～1%或更高） 30秒內（小于0～1%）
漂移	±2%F.S./周