產(chǎn)品展示
硅片去膠機(jī)
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說明】
特點(diǎn):
(1) 每槽可同時(shí)清洗2個(gè)花籃。本設(shè)備外型美觀,耐酸性能好,操作方便,運(yùn)行可靠,是半導(dǎo)體生產(chǎn)線理想的硅片清洗設(shè)備。
(2) 本設(shè)備由機(jī)架部分、整機(jī)部分、槽體部分、伺服系統(tǒng)、及機(jī)械傳動(dòng)部分、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。
(3) 工藝過程可自動(dòng)/手動(dòng),機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來控制,美國(guó)進(jìn)口導(dǎo)軌和機(jī)械手來滿足工藝時(shí)序。
(4) 除裝片和取片需人工外,其余工藝動(dòng)作均由機(jī)械手來實(shí)現(xiàn),適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。
(5) 機(jī)臺(tái)內(nèi)設(shè)高效過濾器,滿足凈化工作區(qū)工作(1000級(jí)~100級(jí),10級(jí)為特級(jí))。
(6) 人機(jī)界面為觸摸屏,有安全保護(hù)故障代碼,故障報(bào)警,工藝時(shí)序號(hào),方便操作、易于維護(hù)。
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