產品展示
擴散后清洗設備
【簡單介紹】
【詳細說明】
設備名稱 | 擴散后清洗設備 | 本設備主要用于對硅片擴散后的清洗干燥處理。 | |
規格尺寸 | 長 6200mm | 寬 1800mm | 高 1780mm |
主要材質 | 殼體:德國進口PP板, 槽體:NPP板 門:通明PVC | ||
產品特點 | 1.此清洗裝置主要由清洗主體、機械臂系統、抽風系統、電控系統等部分組成 2.設備走向統一采用“右進左出”方式。工件由作業員左邊人工上料,經清洗后,經作業員右邊人工出料。 3. 設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過 PE 管進行保護,免受腐蝕 | ||
備 注 | 1.本機配有兩個機械臂;機械臂采用平穩控制方式,提籃不會晃動;機械臂的定位精度高; 2.每次只能鉤取二個承載器,掛鉤與機械手采用螺紋連接,方便調整;提升總量不大于30KG; |
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