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硅片甩干機
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產地址：
- 瀏覽次數：
- 蘇州華林科納半導體設備技術有限公司
- 2014-07-05 00:12:49
- 蘇州市
- 蘇州園區獨墅湖高教區若水路398號
- 454
【簡單介紹】
【詳細說明】
設備概述:
硅片甩干機是由該系列機型具有高潔凈度旋轉沖洗甩干功能。主要用于硅圓片、掩模版、太陽能電池等類似材料的沖洗甩干。
1甩干機機型
雙工作腔結構，zui大加工片子直徑φ150mm。S為雙片盒結構.
雙工作腔結構，zui大加工片子直徑φ150mm。S為雙片盒結構.
2系統構成
整機采用雙工位（或單工位）層疊、積本式組合結構，每個工位可獨立運行互不干擾。能實現包括旋轉沖洗、氮氣烘干、電阻率監控、防靜電控制、腔體干燥、故障顯示報警、系統潔凈化處理在內的全自動工藝處理過程。
3結構原理與特點
潔凈化處理技術 ⑵ 大功率無刷電機驅動
⑶ 清洗工作腔體 ⑷ 轉軸氮氣密封技術
⑸ 去離子水控制 ⑹ 防靜電控制
⑺ 防震、隔震技術 ⑻ 測速、計數控制技術
⑼ 制動控制技術 ⑽ 系統控制技術
⑾ 工藝處理軟件 ⑿ 顆粒控制性能
⒀ 安全及防護處理 ⒁ 門位置狀態監控與互鎖
⒂ 生產技術
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