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手動硅片清洗設備
【簡單介紹】
【詳細說明】
◆ 可根據不同的清洗工藝配置各種相應的清洗功能槽。◆ 功能槽包括:加熱酸缸、HF腐蝕、BHF(HF恒溫緩沖腐蝕)、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR(快排沖水)、電爐等。 ◆ 清洗功能槽模塊化,各部分有獨立的控制單元,可隨意組合。◆ 關鍵件采用進口部件,提高設備的可靠性及使用壽命。◆ 采用進口耐腐蝕PP板材,防酸、防腐,有效避免酸液的侵蝕。◆ 控制系統的元器件具備防腐、防潮功能,確保安全的工作環境。◆ 結構緊湊,占地面積小,造型美觀、實用。◆ 操作符合人機工程原理,具有良好的操作界面,使用方便、靈活。◆ 閉式清洗,有效改善工作環境,保障操作人員安全
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