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半導體器件設備-單晶腐蝕通風柜
【簡單介紹】
【詳細說明】
適用于2″~8″硅片的腐蝕1.本設備為柜體式腐蝕機,整臺設備均采用進口件。2.基本材質:箱體材質:德國磁白色聚丙烯(PP);門板材質:德國透明聚氯乙烯(PVC);腐蝕槽材質:德國自然色聚偏二氟乙烯(PVDF);清洗槽材質:德國自然色聚丙烯板(NPP);3.本設備的腐蝕槽和清洗槽間的轉換由進口SEW驅動,以迅速實現兩槽之間的硅片轉換。4.腐蝕槽配有美國聚四氟乙烯加熱器、虹吸上排、傳感器。5.清洗槽配有溢流裝置,和N2鼓泡裝置。6.整機外型美觀、實用。
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