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硅片清洗系列

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  • 所 在 地:
  • 生產地址:
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  • 蘇州華林科納半導體設備技術有限公司
  • 2017-12-29 11:23:57
  • 蘇州市
  • 蘇州園區獨墅湖高教區若水路398號
  • 337

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【簡單介紹】

華林科納清洗設備

【詳細說明】

 

單硅(芯)片清洗機是一種*的劃片后清洗設備。華林科納CSE供應
該產品主要用于清除切割道里面的廢屑,是劃片后的重要工序。
一、主要技術特點:
1.可靠的控制系統
2.觸摸屏顯示
3.可設置和存儲工藝菜單
4.高壓去離子水泵
5.體積小
6.噴頭H軸Y軸調節
7.在線電阻率檢測水質
8.清洗后高純氮氣吹干過程
9.內置真空發生器(吸附)
10.自動排水裝置
11.對硅片定位框架的安全鎖定
12.二氧化碳防靜電裝置(可選)
13.兆聲波發生器(可選)
 
    
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