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硅片切片后清洗設備 華林科納CSE供應
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產地址：
- 瀏覽次數：
- 蘇州華林科納半導體設備技術有限公司
- 2017-09-26 02:31:46
- 蘇州市
- 蘇州園區獨墅湖高教區若水路398號
- 273
【簡單介紹】
【詳細說明】
硅片切片后清洗設備型號：CSE系列，品牌：華林科納—CSE1.設備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機。2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。3.關鍵件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道、全氟循環系統，保證工作介質（酸、堿）的潔凈度，避免雜質析出。4.工藝過程全自動，機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。
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