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硅片顯影機CSE-S-WX
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產地址：
- 瀏覽次數：
- 蘇州華林科納半導體設備技術有限公司
- 2014-06-29 07:07:58
- 蘇州市
- 蘇州園區獨墅湖高教區若水路398號
- 278
【簡單介紹】
【詳細說明】
設備名稱：硅片顯影機 設備主要用于半導體工藝中對硅片進行顯影和定影。
規格尺寸：長 3200mm 寬 1700mm 高 1780mm
主要材質：1.設備由五大部分組成：清洗槽部分、層流凈化系統、電器控制系統、機架及整機。
2. 關鍵件采用進口件，包括氣門閥。PFA管道，全氟循環系統，保證工作介質（酸、堿）的潔凈度，避免雜質析出。、
3.人機界面為觸摸屏，方便直觀。
4.出裝機和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成，適用于連續批量生產。
5.界面中有故障報警、安全保護，工藝時序號等功能。
備注：工作區的凈化裝置，內置高效過濾的裝置，滿足工作區凈化要求，（1000-100級，10級為特制）
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