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半導體硅片去膜/去膠/去蠟清洗機
- 公司名稱：
- 更新時間：
- 所 在 地：
- 生產地址：
- 瀏覽次數：
- 蘇州華林科納半導體設備技術有限公司
- 2017-08-19 01:26:31
- 蘇州市
- 蘇州園區獨墅湖高教區若水路398號
- 229
【簡單介紹】
【詳細說明】
概述：本設備可用于半導體工藝中對2″~8″硅片進行去膜處理，該產品技術*、*性強，適用于規模生產。2．整臺設備材料均為進口。3．本設備為雙排槽構成，每排7槽，各設一套機械手，兩排可獨立同時完成相應的工序。4．本設備除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成。5．每槽裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）。6．工作區潔凈度：100級。7．槽間工藝轉換時間：Tm ax≤3.5S
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