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蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司

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蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司>> 硅片顯影機(jī)
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硅片顯影機(jī)

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  • 蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
  • 2014-07-06 17:02:00
  • 蘇州市
  • 蘇州園區(qū)獨(dú)墅湖高教區(qū)若水路398號
  • 255

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【簡單介紹】

半導(dǎo)體清洗設(shè)備

【詳細(xì)說明】

設(shè)備名稱
硅片顯影機(jī)
設(shè)備用于半導(dǎo)體工藝中對硅片進(jìn)行顯影和定影。
規(guī)格尺寸
3200mm
1700mm
1780mm
主要材質(zhì)
殼體:德國進(jìn)口PP板,
槽體:NPP
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.設(shè)備由五大部分組成:清洗槽部分、、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。
2.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件,包括氣動閥,PFA管道,全氟循環(huán)系統(tǒng),保證工作介質(zhì)(酸、堿)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。
3.人機(jī)界面為觸摸屏,方便直觀。
4.除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均可自動完成,適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。
5.界面中有故障報警、安全保護(hù),工藝時序號等功能。
 
1.工作區(qū)設(shè)凈化裝置,內(nèi)置高效過濾器,滿足工作區(qū)凈化要求(1000100級,10級為特制)。

    
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郵編:215125
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