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華林科納—CSE 半導(dǎo)體器件設(shè)備-光刻用洗膠清洗柜
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- 瀏覽次數(shù)：
- 蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
- 2014-06-28 13:40:02
- 蘇州市
- 蘇州園區(qū)獨(dú)墅湖高教區(qū)若水路398號(hào)
- 344
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
德國(guó)NPP板熱彎/焊接組合加工；一、槽體結(jié)構(gòu)：該槽體實(shí)現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔（包括氮?dú)夤呐荩┘绊敳孔笥覂蓚?cè)的DI噴嘴實(shí)現(xiàn)槽體的快速注入與排放。二、工藝控制：快排沖洗槽（QDR）的工作過(guò)程由獨(dú)立K200型控制器保證。它包括工藝時(shí)間、沖洗次數(shù)設(shè)置、工作完成提示以及過(guò)程中的故障報(bào)警、狀態(tài)提示等功能
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聯(lián)系人：徐竹林
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