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華林科納—CSE 半導(dǎo)體器件設(shè)備-單晶圓清洗設(shè)備
【簡單介紹】
【詳細說明】
華林科納—CSE 半導(dǎo)體器件設(shè)備-單晶圓清洗設(shè)備適用于薄晶圓(到80 μm)以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)的晶圓。采用標(biāo)準(zhǔn)的濕法工藝對硅晶圓片進行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動控制方式,保護脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。設(shè)備品牌:華林科納—CSE 制造廠商:蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司
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