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單波長(zhǎng)橢偏儀（激光橢偏儀）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地天津市

更新時(shí)間：2017-07-26 01:39:42瀏覽次數(shù)：360次

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系統(tǒng)規(guī)格：波長(zhǎng)：637nm入射角：連續(xù)，30~90°（±0.03°）樣品尺寸：4inch~8inch精度：（1200A SiO2標(biāo)準(zhǔn)片，5times） TKS±2.5A/N±0.005尺寸：80cm×34cm×42cm

 

系統(tǒng)規(guī)格：

波長(zhǎng)：637nm

入射角：連續(xù)，30~90°（±0.03°）

°
樣品尺寸：4inch~8inch

°
精度：（1200A SiO2標(biāo)準(zhǔn)片，5times）

      TKS±2.5A/N±0.005
尺寸：80cm×34cm×42cm
應(yīng)用：
鍍膜工藝 *化及監(jiān)控
 SiNx減反膜工藝
 TiO2減反膜工藝
 復(fù)合SiNx減反膜工藝
SiO2鈍化工藝
復(fù)合SiNx/SiO2減反膜工藝
SiO2掩膜工藝

軟件特征：

整合量測(cè)、分析、計(jì)算
操作模式安全化
同步原始數(shù)據(jù)呈現(xiàn)
硬件特征：
半導(dǎo)體鐳射光源
三格林泰勒棱鏡偏振系統(tǒng)
 波長(zhǎng)：260-1800nm
 消光比：＞105
 發(fā)散角：≤3mrad
真空吸附載物臺(tái)
自動(dòng)連續(xù)入射角（零度校正）
高分辨率半導(dǎo)體探測(cè)器

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