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石英管式微波等離子體發生裝置

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具體成交價以合同協議為準

產品型號石英管式微波等離子體發生裝置

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地上海市

更新時間:2018-05-16 16:03:22瀏覽次數:420次

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上海菲柯特電氣科技有限公司位于上海電力學院科技園,是專業從事電力測試儀器.絕緣材料.母線槽.滑觸線.電纜橋架系列產品開發、研究、生產、銷售和技術服務的高科技企業,公司產品質量達到國內外同類產品的*水平。

(一)性能概況
1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足額功率,連續可調;
2、本底真空不劣于10Pa;工作氣體分3路控制流(入)量;
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應室,置于微波系統和真空系統的偶合點上;
4、制冷循環水冷卻。
                                (二)典型實驗
1、化學氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等;
2、集成電路等的刻蝕;
3、可催化引發常規化學很難實現的反應;
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
                                 (三)產品特色
1、微波準零泄漏,確保人身安全;
2、微波足額功率,等離子體活力強勁;
3、樣品升降架精巧豪,可加熱可冷卻;
4、制冷循環水避免長流水費水擾民;
5、循環水機可聯機可獨立使用;
6、缺水保護報警功能完善可靠;
7、排氣口有環保型油霧過濾器;
8、電控系統功能完善靈便醒目;
9、整機造型典雅大氣。

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