當前位置:上海菲柯特電氣科技有限公司>> 石英管式微波等離子體發生裝置石英管式微波等離子體發生裝置
(一)性能概況
1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足額功率,連續可調;
2、本底真空不劣于10Pa;工作氣體分3路控制流(入)量;
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應室,置于微波系統和真空系統的偶合點上;
4、制冷循環水冷卻。
(二)典型實驗
1、化學氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等;
2、集成電路等的刻蝕;
3、可催化引發常規化學很難實現的反應;
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
(三)產品特色
1、微波準零泄漏,確保人身安全;
2、微波足額功率,等離子體活力強勁;
3、樣品升降架精巧豪,可加熱可冷卻;
4、制冷循環水避免長流水費水擾民;
5、循環水機可聯機可獨立使用;
6、缺水保護報警功能完善可靠;
7、排氣口有環保型油霧過濾器;
8、電控系統功能完善靈便醒目;
9、整機造型典雅大氣。
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