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伯東企業上海有限公司北京辦事處


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伯東公司代理等離子刻蝕機 RIE/ICP

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廠商性質經銷商

所  在  地北京市

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更新時間：2017-07-03 12:34:23瀏覽次數：284次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：37條

所在地區：北京

聯系人：于洋 （銷售助理）

產品簡介

伯東公司代理美國真空設備包括等離子增強化學汽相沉積系統PECVD、電子束蒸發臺/熱阻蒸發臺E-beam/Thermal Evaporator、等離子刻蝕機 RIE/ICP、磁控濺射系統 Sputter、脈沖激光沉積/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

詳細介紹

伯東公司代理美國真空設備包括等離子增強化學汽相沉積系統PECVD、電子束蒸發臺/熱阻蒸發臺E-beam/Thermal Evaporator、等離子刻蝕機 RIE/ICP、磁控濺射系統 Sputter、脈沖激光沉積/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

 

等離子刻蝕機 RIE/ICP 產品特色：腔室溫度控制范圍：室溫~60℃、適用于zui大8”樣品及更小樣品、本底真空<9×10-5 Torr、可選配Loadlock、刻蝕樣品陡直度：可達89°

 

應用領域：適用于各種金屬、Si、SiO2、SiN、GaAs、GaN等II-VI族和III-V族材料的刻蝕

 


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