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伯東企業上海有限公司北京辦事處


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伯東公司代理等離子增強化學汽相沉積系統PECVD

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更新時間：2017-07-11 17:14:08瀏覽次數：282次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：37條

所在地區：北京

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產品簡介

伯東公司代理美國真空設備包括等離子增強化學汽相沉積系統PECVD、電子束蒸發臺/熱阻蒸發臺E-beam/Thermal Evaporator、等離子刻蝕機 RIE/ICP、磁控濺射系統 Sputter、脈沖激光沉積/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

詳細介紹

伯東公司代理美國真空設備包括等離子增強化學汽相沉積系統PECVD、電子束蒸發臺/熱阻蒸發臺E-beam/Thermal Evaporator、等離子刻蝕機 RIE/ICP、磁控濺射系統 Sputter、脈沖激光沉積/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

 

化學汽相沉積系統 PECVD 產品特色：zui大 8”樣品或更小樣品；適用于 SiN，SiO2等高質量薄膜沉積；平行板電容式等離子發生器；高效率的真空系統；全自動--界面友好的工藝控制；射頻功率可調，zui大600W，13.56MHz；標配 6路工藝氣體，可用于CF4，N2O，N2，NH3，O2，SiH4，CH4 and C2H6等氣體；IBM 工業級電腦，80G硬盤，17”液晶顯示器，實時顯示工藝狀態。

 

PECVD設備廣泛應用在半導體行業（MEMS）、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜、太陽能電池薄膜等領域。

 


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