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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州富屹坤電子設備有限公司


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晶圓真空固化爐

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-07-04 09:48:57瀏覽次數(shù):30次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:13條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:林先生

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途:本產(chǎn)品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備

詳細介紹

產(chǎn)品用途:
本產(chǎn)品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設備,烘箱溫度可達450°c
性能特點:
?真空度可達10 Pa
?箱體內氧含量:≤20ppm,提供氧含量檢測接口 
?曰本優(yōu)易控觸摸屏,升降溫斜率控制 

?內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作 



型號MODEL

SXYJ-1

SXYJ-2

內箱尺寸(H*W*D) CM Interior dimensions

20*20*40

30*30*60

溫度范_ Temp.range

RT+20°C ?450°C

溫度波動度 Temp.constancy

士 0.5°C

真空度
vacuum

lOpa

氧含量
oxygen content

≤20ppm

內箱材質 Interior material

SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質 Exterior material

鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel

保溫材料 Insulatio material

硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置 Safety devices

聲光報警器超溫保護器Audible and visual alarm,Over Temp

功率(kva)

9.0

12.0

電源
Power

AC380V±10%3φ 50HZ 


*歡迎訂制不同規(guī)格尺寸的非標準烘箱



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