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普列多(杭州)智能科技有限公司


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高真空無氧烘箱/除氣爐/真空除氣爐

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2024-07-03 10:08:34瀏覽次數:68次

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經營模式:其他

商鋪產品:51條

所在地區:浙江杭州市

產品簡介

用于半導體晶圓清洗、涂膠、光刻、退火、堅膜、封裝等工藝,電子材料線路板烘烤,金屬材料退火等其他行業。...

詳細介紹

設備型號 內尺寸(W*D*H)mm 溫度范圍 隔板數
PHGZ-PN系列無氧烘箱 任意尺寸定制 +10-200℃(300,400,500℃) 任意
PHGZ-9027-PN 300×300×300 +10-200℃(300,400,500℃) 1塊
PHGZ-9070-PN 450×350×450 +10-200℃(300,400,500℃) 1塊
PHGZ-9136-PN 550×450×550 +10-200℃(300,400,500℃) 2塊
PHGZ-9225-PN 600×500×750 +10-200℃(300,400,500℃) 2塊
PHGZ-9640-PN 800×800×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 3塊
PHGZ-91000-PN 1000×1000×1000 +10-200℃(300,400,500℃) 4塊
PHGZ-91440-PN 1200×1000×1200 +10-200℃(300,400,500℃) 5塊
PHGZ-91800-PN 1200×1000×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6塊
PHGZ-92700-PN 1500×1200×1500 +10-200℃(300,400,500℃) 6塊

一、控溫方式: PLC+7寸液晶觸摸屏或PID雙數顯智能控溫。

二、內膽材料: 鏡面不銹鋼板。

三、加熱裝備:不銹鋼無塵電熱管,升溫速度0-15℃/min。

四、傳熱方式: 輻射導熱。

五、潔凈度: 安裝高效過濾系統,確保箱內環境達到class100。

六、真空度: 真空度達到≤50pa,極限真空度可達到10pa。

七、氧含量控制: 實時檢測,氧含量可控制100ppm以下,可至20ppm。

八、密封方式: 耐高溫壓迫密封膠條,真空狀態密封更牢固。

九、定時裝置: 恒溫定時,預設烘烤時間,時間到自動切斷加熱并蜂鳴報警

十、超溫保護: 配置獨立超溫保護儀,超過設定溫度自動切斷加熱并蜂鳴報警

十一、電器配置: 斷路器、接觸器、過載保護器、中間繼電器、離心抽風機等

十二、安全裝置: 漏電,短路,過載保護;鼓風電機過載缺相保護

如有其他工藝需要,可聯系功能定制!

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