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吳江市億能烘箱制造有限公司
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百級潔凈氮氣柜產品應用：
適合半導體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設計都為全封閉環境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。松鑫潔凈柜則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵污染的物品.
相關技術指標：
1）潔凈等級
專業高效潔凈過濾裝置，材質采用進口PTFE,確保潔凈柜內CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。
2）TDH實驗
即存放在潔凈柜內經過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標返顆粒的現象產生(返顆粒取樣測試后總數平均數與原有硅片顆粒數對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))
3）降濕速度
除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數量晶圓盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；
4) 進口無塵風機：采用進口無塵室專用FFU風機，面風速：0.3～0.45m/s；
5）靜電殘余值測定松鑫全功能潔凈氮氣柜（選配）
潔凈氮氣柜內放置的硅片盒，經過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv
6）柜內風速均勻性
潔凈柜內有氮氣的，可使用風速測定儀來檢測內部硅片放置各點的風速，不能有較大差異。
7）溫濕度顯示及記錄管理。
溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；
溫濕度顯示監控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監控，在潔凈柜在關閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。
百級潔凈氮氣柜主要特點：
一、規格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供訂制)
1、材質：SUS304雙鏡面
2、工作電壓：220V
3、溫濕度顯示器精度：相對濕度±3%Rh，溫度±1℃
二、主要特色
RSD-COL-4M系列是集快速降濕、除塵、氮氣節約功能于一體的無塵室儲存設備。
潔凈氮氣柜產品說明：
*控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。
*高潔凈過濾器FFU采用美國等進口品牌。
*離心風機采用德國等進口品牌。
*采用高品質靜電消除裝置。
*對氮氣進行前期潔凈預處理。
*采用雙數顯式控制器，對箱內濕度或含氧量進行顯示和控制（二選一）。設備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風。
*設備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控制,高潔凈過濾器受阻等多個系統.
*控制儀可選配置進行溫濕度含氮量數據的實時顯示,存儲和輸出和報警功能。
不銹鋼潔凈型有四項主要特色：
1、模組化設計：本機器采用的模組化設計，溫濕度顯示器、控制系統、除塵系統及除靜電系統均能快速更換，保養及維修簡便，大大提升維護效率。
2、彈性設計：整臺設備現有除濕、除塵、防靜電、氮氣節約、數據收集和聲光警報功能均可依據客戶需求配置。
3、簡易的操作：在完成濕度目標值設定后，RSD-COL系列各功能獨立性強，開關按鍵設置簡潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。
4、安全性設計：內置雙重抗干擾設計，可有效解決相鄰高壓設備帶來的干擾和因操作不當導致的電器部件損毀問題。
*型號RSD-COL-4M潔凈氮氣柜/不銹鋼潔凈氮氣柜/十級潔凈氮氣柜/100級潔凈氮氣柜標準。
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